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JARAMILLO-OCAMPO, J. M. [Autor]
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Gómez-Méndez, E., Posada, C. M. and Jaramillo-Ocampo, J. M.
Development of a bearing-free, low-vibration vacuum chuck for a spin-coating apparatus
.
J. appl. res. technol
, Feb 2020, vol.18, no.1, p.14-20. ISSN 1665-6423
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