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REYES-BETANZO, C. [Autor]
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Herrera-Celis, J. et al.
Effects of hydrogen dilution and B-doping on the density of Si-C bonds and properties of
a
-Si
x
C
1-x
:H films
.
Superf. vacío
, June 2016, vol.29, no.2, p.38-42. ISSN 1665-3521
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Rosales-Quintero, P. et al.
Current conduction mechanisms in
n
-type
α
-SiGe
:
H/
p
-type
c
-Si heterojunctions
.
Superf. vacío
, June 2008, vol.21, no.2, p.1-8. ISSN 1665-3521
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Dominguez-Jimenez, M.A. et al.
Thin-film transistors based on zinc oxide films by ultrasonic spray pyrolysis
.
Rev. mex. fis.
, Apr 2015, vol.61, no.2, p.123-126. ISSN 0035-001X
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Leal-Romero, R. et al.
Proceso de grabado seco de silicio monocristalino para aplicaciones en guías de onda coplanares
.
Rev. mex. fis.
, Feb 2010, vol.56, no.1, p.92-96. ISSN 0035-001X
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Álvarez-Macías, C. and Reyes-Betanzo, C.
Procesos de grabado seco de silicio monocristalino con alta velocidad de grabado y anisotropía para su aplicación en la fabricación de MEMS
.
Rev. mex. fis.
, Dic 2007, vol.53, no.6, p.488-494. ISSN 0035-001X
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Reyes-Betanzo, C., Moshkalyov, S. A. and Swart, J.W.
Grabado anisotrópico de silicio para aplicación en micromaquinado usando plasmas de SF
6
/CH
4
/O
2
/Ar y SF
6
/CF
4
/O
2
/Ar
.
Rev. mex. fis.
, 2004, vol.50, no.2, p.203-207. ISSN 0035-001X
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