Abstract

FLORES-CAMACHO, J.M. et al. Lock-in amplifier-based rotating-analyzer spectroscopic ellipsometer with micro-controlled angular frequency. Rev. mex. fis. [online]. 2005, vol.51, n.3, pp.274-283. ISSN 0035-001X.

Se describen el diseño, la construcción y la operación de un elipsómetro espectroscópico de analizador rotante. El instrumento hace uso de un amplificador sensible a la fase para procesar la señal óptica; esto como una alternativa al análisis de la misma por la técnica de Trasformada Rápida de Fourier. Cuenta con dispositivos electrónicos diseñados para controlar la frecuencia de rotación del prisma analizador, así como para posicionar el ángulo azimutal del prisma polarizador. El elipsómetro permite la medición de la función dieléctrica en el rango de energías desde 1.7 eV hasta 5.5 eV, tanto en aire como en condiciones de Ultra Alto Vacío (UHV). En UHV es posible realizar mediciones a temperaturas tan bajas como 150 K. Para evaluar la operación del elipsómetro, se presentan resultados de la medición de la función dieléctrica de un número de semiconductores, en forma específica, de GaSb, GaAs, InGaAs, CdTe y CdHgTe.

Keywords : Elipsómetros; sistemas de control; función dieléctrica; propiedades ópticas de películas delgadas.