Abstract

GONZALEZ-VIDAL, J.L. et al. CO sensitivity of undoped-ZnO, Cr-ZnO and Cu-ZnO thin films obtained by spray pyrolysis. Rev. mex. fis. [online]. 2006, vol.52, suppl.2, pp.6-10. ISSN 0035-001X.

En este trabajo presentamos las propiedades sensoras de películas delgadas de óxido de zinc sin dopar (ZnO) y dopadas con cromo (Cr-ZnO) o cobre (Cu-ZnO) en una atmósfera de monóxido de carbono, CO. Las películas fueron depositadas a 400° C, usando acetyl-acetonato de zinc como fuente del zinc. Tres diferentes concentraciones de dopante fueron utilizadas. Una sensibilidad máxima del orden de cuatro ordenes de magnitud fue obtenida a temperaturas de medición de 200 y 300° C, para las películas dopadas con Cr y Cu, respectivamente, en una atmósfera de CO a una concentración de 100 ppm. Las películas impurificadas con Cr mostraron su máxima sensibilidad a temperaturas más bajas (200°C) respecto a las películas impurificadas con Cu, las cuales presentaron su máxima sensibilidad a 300°C. Las películas más delgadas siempre mostraron mayor sensibilidad.

Keywords : Oxido de zinc; películas delgadas; sensor de gases; monóxido de carbono.