Abstract

PEREZ RUIZ, S.J et al. Optical sensing technique for Young's modulus measurements in piezoelectric materials. Rev. mex. fis. [online]. 2008, vol.54, n.3, pp.253-256. ISSN 0035-001X.

En el diseño de micro sensores utilizando la tecnología de sistemas micro electromecánicos (MEMS por sus siglas en inglés), es necesario conocer las propiedades mecánicas de los materiales empleados. Las propiedades mecánicas fidedignas son críticas para el funcionamiento correcto y seguro de estos micro dispositivos. Someter a prueba a micro estructuras cuyo grosor es de una cuantas micras requiere técnicas nuevas y procedimientos especializados para su preparación y manejo. En este trabajo se utiliza un sensado óptico simplificado para medir el módulo de Young en trampolines piezoeléctricos. Esta técnica óptica se eligió debido a que es la mas apropiada cuando se trabaja con dispositivos pequeños; además es fácil de instrumentar y de bajo costo.

Keywords : Módulo de Young; trampolín piezoeléctrico.