Abstract

GARCIA-GRADILLA, V.; SOTO-HERRERA, G.; MACHORRO-MEJIA, R.  and  MITRANI-ABENCHUCHAN, E.. Modelo del voltaje de descarga en depósitos de ZrO_X por erosión iónica reactiva. Rev. mex. fis. [online]. 2009, vol.55, n.2, pp.106-111. ISSN 0035-001X.

Se presenta una aplicación del modelo de Berg para el depósito de películas delgadas de ZrO_X por la técnica de erosión iónica reactiva. Se propone un tratamiento alternativo de dicho modelo, adaptándolo a un punto de vista ingenieril. El modelo de Berg en su forma original considera el envenenamiento del blanco como una fracción de cobertura de la superficie del blanco, la presión de depósito, los flujos de entrada y la velocidad de bombeo. En el tratamiento alternativo que aquí se ejemplifica, todas estas cantidades -difíciles de medir en la practica - se reducen a considerar solamente variaciones en la caída de voltaje en el blanco y la impedancia del plasma, que juntos conforman el voltaje de descarga. La ventaja de este tratamiento es que puede ser usado fácilmente por un ingeniero de campo, sin conocimientos en ciencias de materiales, para controlar las propiedades de la película a depositar.

Keywords : Erosión iónica reactiva; voltaje de descarga; películas delgadas; modelo.