Abstract

MARQUEZ-HERRERA, A. et al. Efecto de la temperatura de substrato en las propiedades estructurales, ópticas y ferroeléctricas de películas delgadas de BaTiO₃ depositadas por RF sputtering. Rev. mex. fis. [online]. 2012, vol.58, n.4, pp.308-312. ISSN 0035-001X.

Se crecieron películas delgadas de Titanato de Bario (BaTiO₃) sobre substratos de cuarzo y nicromel, utilizando un blanco de BaTiO₃ mediante la técnica erosión catódica por radiofrecuencia. Variamos la temperatura de substrato con el fin de determinar su efecto sobre las propiedades estructurales, ópticas y ferroeléctricas de las muestras. Los resultados de la difracción de Rayos-X indicaron que las muestras tuvieron una estructura tetragonal, aumentando su cristalinidad conforme se aumentó la temperatura de substrato. El ancho de banda prohibida disminuyo con el aumento en la temperatura de substrato, mostrando un decremento abrupto a 494.8°C. Las propiedades ferroeléctricas de las películas mostraron una dependencia con la temperatura de substrato, obteniéndose la mejor respuesta a 494.8°C.

Keywords : Películas delgadas; tratamientos térmicos; sistema de calentamiento.

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