Abstract

ALARCON-FLORES, G. et al. Electrical and structural characteristics of spray deposited (ZnO)_X-(CdO)_1-X thin films. Rev. mex. fis. [online]. 2013, vol.59, n.5, pp.403-411. ISSN 0035-001X.

Películas delgadas de (ZnO)x(CdO)₁_x fueron depositadas sobre sustratos de vidrio a 300°C y 400°C por rocío pirolítico ultrasónico con composiciones entre CdO y ZnO. Las propiedades eléctricas fueron determinadas a través de medidas de espectroscopia de impedancia y Efecto Hall. Microscopía electrónica de barrido, espectroscopia por dispersión de energía y difracción de rayos X fueron utilizadas para determinar las características estructurales de las películas. Elipsometría fue empleada para confirmar las características estructurales. Las películas, tal y como son depositadas resultaron policristalinas y densas, dependiendo de la temperatura del sustrato y de la composición relativa de ellas. Todas las películas mostraron una conductividad de tipo n y las películas con concentraciones intermedias resultaron con una mezcla de ambas fases; CdO y ZnO. Las mediciones de Efecto Hall mostraron que la más alta conductividad de las películas de CdO fue cercano a 1 x 10³ (Ω-cm)^-1, valor más alto obtenido para CdO sin dopante. Las medidas de espectroscopia de impedancia confirmaron los resultados obtenidos por Efecto Hall, y mostraron además que el alto carácter conductor de las películas de CdO influye de manera importante en la conductividad de las películas de (ZnO)_X-(CdO)_1-X. Además, dependiendo de la temperatura del sustrato y de la composición relativa de las películas ambos, los granos (o el bulto), así como las fronteras de grano, limitan la conductividad en ellas.

Keywords : Espectroscopia de impedancia; óxidos conductores transparentes (TCOs); rocío pirolítico.

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