Abstract

MARQUEZ-HERRERA, Alfredo et al. Estudio de la temperatura de crecimiento sobre la cristalinidad en películas delgadas de BaTiO₃. Ing. invest. y tecnol. [online]. 2013, vol.14, n.3, pp.317-323. ISSN 2594-0732.

Películas delgadas Ferroeléctricas de BaTiO₃ (BTO) se depositaron a partir de un blanco de BaTiO₃ mediante la técnica de RF-Sputtering (erosión catódica por radio frecuencia) sobre substratos de nicromel y cuarzo. Se estudió el efecto de la temperatura de sustrato in-situ en la cristalinidad del material durante su depósito. Estas muestras fueron comparadas con películas depositadas a temperatura ambiente y tratadas térmicamente posterior al depósito fuera de la cámara de crecimiento. El estudio de la cristalinidad fue realizado mediante la técnica de difracción de rayos-X. Adicionalmente, se llevaron a cabo caracterizaciones ópticas mediante un espectrofotómetro UV-Vis. El crecimiento de películas delgadas con temperatura de sustrato permite la obtención de materiales cristalinos a temperaturas por debajo de las reportadas por otros autores.

Keywords : películas delgadas; tratamientos térmicos; BaTiO₃.