Abstract

YATE, L. et al. Caracterización de películas delgadas de carburo de tungsteno (W-C) obtenidas por el método de co-sputtering. Superf. vacío [online]. 2008, vol.21, n.3, pp.30-32. ISSN 1665-3521.

Se obtuvieron películas delgadas de carburo de tungsteno (W-C) por la técnica de deposición física de vapor con radiofrecuencia (RF - 13.56 MHz - magnetron co-sputtering) en gas argón a partir de un blanco compuesto de carbono C (99.9%) y tungsteno W (99.9%) con diferentes concentraciones de W y C. Las películas delgadas se depositaron a temperaturas en el rango de 300 a 500°C sobre substratos de silicio (100) y acero AISI D3. El análisis de difracción de rayos X mostró que se obtienen dos fases de W-C: carburo de tungsteno W-C hexagonal y subcarburo W₂C ortorrómbico. Estas fases dependen directamente de la concentración de tungsteno en el blanco compuesto y de la temperatura de deposición. Los resultados de espectroscopia de infrarrojo con transformada de Fourier de las películas depositadas a partir de diferentes blancos compuestos muestran la presencia de una banda de absorción a 1730 cm^-1 asociada con los grupos carbonilo (C=O) y una banda ancha cerca de 1340 cm^-1 en la cual hay dos modos de la fase cúbica y hexagonal del W-C en 1144 y 1220 cm^-1, respectivamente.

Keywords : Carburo de tugsteno; Erosión catódica con magnetron; co-erosión catódica.