Abstract

AGUILAR-LEYVA, J.; MALDONADO, A.  and  OLVERA, M. de la L.. Aplicación de peliculas delgadas de SnO₂ y SnO₂:Ru como sensores de propano. Superf. vacío [online]. 2012, vol.25, n.2, pp.117-120. ISSN 1665-3521.

En este trabajo se reportan las propiedades sensoras de películas de óxido de estaño puro, SnO₂, y óxido de estaño impurificado intencionalmente con rutenio, SnO₂:Ru, en una atmósfera controlada de propano, C₃H₈, a diferentes concentraciones y temperaturas de operación. Las películas, con espesor variable, fueron depositadas sobre substratos de vidrio sodocálcico mediante la técnica de rocío químico, a diferentes temperaturas de depósito, a saber, 300, 350, 400 y 450°C. Previamente a su caracterización, todas las películas fueron sometidas a un tratamiento térmico en vacío a 400 °C durante una hora, con el fin de estabilizar las características físicas de la superficie. Las sensibilidades de las películas fueron cuantificadas mediante la razón de cambio de la resistencia eléctrica superficial en una atmósfera de C₃H₈, respecto a su resistencia medida en aire. Sensibilidades máximas, del orden de 1.4 y 7.4 fueron obtenidas para las películas de SnO₂ y SnO₂:Ru, respectivamente.

Keywords : Películas Delgadas; Óxidos Semiconductores; Óxido de Estaño; Sensores de Propano.