Abstract

SANCHEZ-FRAGA, R. et al. Diseño de un dispositivo sensor de masa tipo MEMS basado en microvigas en voladizo de polisilicio. Superf. vacío [online]. 2014, vol.27, n.2, pp.61-65. ISSN 1665-3521.

Se presentan tres diseños de sensores de masa MEMS basados en vigas en voladizo de polisilicio, los cuales utilizan el principio de cambio de frecuencia debido a una masa añadida mientras operan en oscilación libre. Las estructuras se accionan mediante un actuador electroestático, que consiste en un peine de capacitores interdigitados, con una orientación tal que se maximiza la amplitud de oscilación del voladizo. En consecuencia se abordan problemas de integración entre las estructuras y un circuito electrónico de acondicionamiento. Los diseños se fabricarán por micro maquinado de superficie mediante el proceso SUMMiT-V y pueden ser adecuados para aplicaciones biológicas o químicas. La viabilidad de las propuestas se sustenta mediante análisis de elemento finito (FEA) realizados mediante la herramienta de COMSOL. Se obtuvo una sensitividad de 3.43 pg/Hz, 6.71 pg/Hz y 17.31 pg/Hz para cada uno de los tres diseños.

Keywords : MEMS; Sensores; Microelectrónicos; Cantilever; Actuador electroestático.