Resumen

DUARTE-MOLLER, A; ESPARZA PONCE, H; YOCUPICIO, I  y  GONZALEZ-VALENZUELA, C. XANES and EXAFS study of the TiN Thin films grown by the pulsed DC sputtering technique assisted by balanced magnetron. Rev. mex. fis. [online]. 2007, vol.53, suppl.3, pp.78-81. ISSN 0035-001X.

Se creció una serie de películas delgadas de Ti_x N_y mediante la técnica de DC sputtering asistido por magnetrón balanceado en modo pulsado. El propósito del trabajo fue el de estudiar, mediante la interpretación de XAS, como las diferentes cantidades de nitrógeno suministrado durante el crecimiento de las películas delgadas de TiN, afecta la estequiometría del TiN depositado. También los resultados obtenidos determinan como se interpretan los espectros para observar las diferentes valencias del Ti en el TiN. Los resultados fueron obtenidos mediante el análisis XANES y EXAFS. Este trabajo concluye las condiciones adecuadas para este experimento y obtener TiN como película delgada mediante DC sputtering asistido por magnetrón balanceado en modo pulsado a temperatura ambiente y establece cual de de los espectros de XANES es la huella digital de las valencias de TiN.

Palabras llave : Películas delgadas; TiN; nitruración.