Resumen

FLORES-CARRASCO, G. et al. Propiedades estructurales, ópticas y eléctricas de películas de SnO2 y SnO2:F depositadas por rocío pirolítico ultrasónico. Superf. vacío [online]. 2014, vol.27, n.4, pp.126-132. ISSN 1665-3521.

En esta investigación, reportamos la preparación y caracterización de películas delgadas de SnO2 preparadas por la técnica de Rocío Pirolítico Ultrasónico con diferente contenido de flúor disuelto en etanol como solución precursora, para su posible aplicación como TCO´s. Las propiedades estructurales, ópticas y eléctricas de películas SnO2:F sintetizadas se caracterizaron mediante Difracción de Rayos-X (DRX), Perfilometria, Espectroscopia UV-Vis-NIR y mediciones eléctricas por Efecto Hall. Asimismo los cambios estructurales se estudiaron mediante Difracción de Rayos-X. Los principales resultados muestran que la resistividad eléctrica de las películas disminuyó con el contenido de flúor. Las mejores propiedades electro-ópticas (resistividad eléctrica de 4.14x10-4 Ω-cm y transmitancia media de 80 %) se alcanzaron en un contenido de flúor con relación de estaño de aproximadamente 0.52. Además, se observó un cambio sistemático en la intensidad de las líneas de los máximos de difracción de rayos-X en función del contenido de flúor.

Palabras llave : SnO₂; SnO₂:F; Rocío pirolítico ultrasónico; TCO´s.