SciELO - Scientific Electronic Library Online

 
vol.53 número3A 540µT-1 silicon-based MAGFET índice de autoresíndice de materiabúsqueda de artículos
Home Pagelista alfabética de revistas  

Servicios Personalizados

Revista

Articulo

Indicadores

Links relacionados

  • No hay artículos similaresSimilares en SciELO

Compartir


Revista mexicana de física

versión impresa ISSN 0035-001X

Rev. mex. fis. vol.53 no.3 México jun. 2007

 

Instrumentación

 

Power dissipation in a capacitive coupled 450 khz discharge set up for a CO2 laser

 

J. de la Rosa, J. Corredor, J. Yaljá, F. Gallegos, and P.A. Calva

 

ESIME–IPN, 07738 México, D.F., e–mail: jos_delarosa@yahoo.com.mx

 

Recibido el 30 de enero de 2007
Aceptado el 27 de abril de 2007

 

Abstract

In order to find the power dissipation in a 450 kHz capacitive coupled CO2 laser system using a 50 Ω π matching network, we investigate its electrical behavior. Current and voltage evolution and the phase delay in all the circuit elements were measured with calibrated Rogowski coils and high voltage probes. The signals were registered using a digital oscilloscope interfaced to a PC. When the supplied power lay between 0.5 and 1 kW, the signals had a non–distorted sinusoidal form. This allowed to make the power dissipation estimation in the circuit elements using their current and voltage peak values, and their phase delay. Phase measurements were made with ± 0.3° accuracy, which gives an accuracy of ± 1.5% in the laser chamber power dissipation estimation. The laser chamber power dissipation is estimated at between 30 and 50% of the supplied power, and the rest is consumed in the matching circuit. The power losses in the matching circuit greatly contribute to the poor total system efficiency (≈ 0.8%). The estimated resistance and capacitance values of the laser chamber are also presented.

Keywords: Laser; discharge; r.f.

 

Resumen

Se investiga el comportamiento eléctrico de un láser de CO2 excitado a través de una descarga capacitiva de 450 kHz con el fin de determinar la potencia disipada en la cámara de descarga y en la red de acoplamiento entre la fuente de radio frecuencia y la cámara de descarga. Para medir la evolución temporal de la corriente y voltaje, así como el corrimiento de fase entre ambas, en cada elemento del circuito, se usaron bobinas de Rogowski y puntas de alto voltaje calibradas. Las señales fueron registradas en un osciloscopio digital y almacenadas en una PC. Cuando al sistema se suministra potencia entre 0.5 y 1 kW, las corrientes y voltajes en el circuito muestran una evolución sinusoidal no distorsionada, lo que permite una estimación de la potencia disipada en cada elemento usando los valores pico de su corriente y voltaje, y del corrimiento de fase entre ambas. Se realizaron mediciones de fase con una incertidumbre de 0.3°, lo cual genera una incertidumbre de 1.5% en la estimación de la potencia disipada en la cámara de descarga. Se estima que la potencia disipada en la cámara de descarga es del 30 al 50% de la potencia suministrada y el resto se consume en la red de acople, razón por la cual la eficiencia total del láser es muy pobre (≈0.8%). Con las mediciones realizadas se determinó también la resistencia y capacitancia equivalente de la cámara de descarga.

Descriptores: Láser; descargas; r.f.

 

PACS: 42.60.Lh; 52.80.Pi; 84.37.+q

 

DESCARGAR ARTÍCULO EN FORMATO PDF

 

References

1. P.K. Cheo, Lasers, Edited by A.K. Levine and A.J. De Maria (Marcel Dekker Inc., 1971) Vol. 3.        [ Links ]

2. W.J. Witteman, The CO2 Laser (Springer Verlag, 1987).        [ Links ]

3. Gas Lasers – Recent Developments and Future Prospects, Edited by W.J. Witteman and V.N. Ochkin (Kluwer Academic Pub., 1996).        [ Links ]

4. Y.P. Raizer, M.N. Shneider and N.A. Yatsenko, Radio–Frequency Capacitive Discharges (CRC Press, 1995).        [ Links ]

5. Handbook of the EuroLaser Academy, Edited by D. Schuocker (Chapman and Hall 1998) Vol. 1.        [ Links ]

6. B. Freisinger, M. Pauls, J.H. Schafer, and J. Uhlenbusch, Procc. of the SPIE 1397 (1990) 311.        [ Links ]

7. A.D. Colley, H.J. Baker, and D.R. Hall, Appl. Phys. Lett. 61 (1992) 136.        [ Links ]

8. P.P. Vitruk, H.J. Baker and D.R. Hall, J. Phys. D: Appl. Phys. 25 (1992) 1282.        [ Links ]

9. M.B. Heeman, Y.B. Udalov, K. Hoen, and W.J. Witteman, Appl. Phys. Lett. 64 (1994) 673.        [ Links ]

10. S. Wieneke, C. Uhrlandt, and W. Viol, Laser Phys. Lett. 1 (2004) 1.        [ Links ]

11. J.W. Butterbaugh, L.D. Baston, and H. H. Sawin, J. Vac. Sci. Technol. A 8 (1990) 916.        [ Links ]

12. L.P. Baker, G.M.W. Kroesen, and F.J. de Hoog, IEEE Trans. Plasma Sci. 7 (1999) 759.        [ Links ]

13. K. Wiesemann, On some problems of discharge diagnostics Proceedings of the Frontiers in Low Temperature Plasma Diagnostics V Meeting 2003.        [ Links ]

14. http://fltpd–5.ba.cnr.it/Paper/Libro/1pdf, 27.10.06.        [ Links ]

15. J.Y. Montiel and J.M. de la Rosa, IEEE America Latina 3 (2005). http://ewh.ieee.org/reg/9/etrans/esp/, 27.10.06.        [ Links ]

16. V.A. Godyak, R.B. Piejak, and B.M. Alexandrovich, IEEE Trans. Plasma Sci. 19 (1991) 660.        [ Links ]

17. C. Beneking, J. Appl. Phys. 68 (1990) 4461.        [ Links ]

18. J.A.G. Baggerman, R.J. Visser, and E.J.H. Collart, J. Appl. Phys. 76 (1994) 738.        [ Links ]

19. M.A. Sobolewski and K.L. Steffens, J. Vac. Sci. Technol. A 17 (1999) 3281.        [ Links ]

20. S. Dine, J. Jolly, and J. Guillon, Coupled power and plasma impedance measurements in a VHF capacitive discharge in hydrogen, XXVI International Conference on Phenomena in Ionized Gases 2003–Contributed Papers.http://www.icpig.unigreifswald.de/proceedings/data/Dine_1, 27.10.06        [ Links ]

21. B. Walter, Proc. SPIE 1020 (1988) 57.        [ Links ]

22. Vishay Co. http://www.vishay.com/capacitors, 27.10.06.        [ Links ]

23. C. Bowick, RF circuit design (W.W. Sams, 1982).        [ Links ]

24. S. Ramo, J.R. Whinnery, and T. van Duzer in Fields and Waves in Communication Electronics (John Wiley & Sons, 1965).        [ Links ]

25. A.W. Lotfi, P.M. Gradzki, and F.C. Lee, IEEE Trans. Magn. 28 (1992) 2169.        [ Links ]

26. G.L. Johnson, Solid State Tesla Coil (2001), http://www.tfcbooks.com/special/sstc_glj.htm, 10.11.06.        [ Links ]

27. W. Guo and Ch. A. De Joseph, Plasma Sources Sci. Technol. 10 (2001) 43.        [ Links ]

28. LF–2.7 GHz, RF/IF Gain and Phase Detector. AD8302, REV. A and REV. O, Analog Devices, www.analog.com, 15.06.06.        [ Links ]

29. J. de la Rosa, J. Hamisch, and H.J. Eichler, J. Phys. D: Appl. Phys. 21 (1988) 1342.        [ Links ]

30. T.M. Roberts and H.D. Hibbert, Nature 295 (1982) 42.        [ Links ]

31. A. Ducluzaux, Cahier Technique Schneider Electric 83 (1983) 1, http://www.schneiderelectric.com/cahier_technique/en/pdf/ect83.pdf, 27.10.06        [ Links ]

32. S.A. Starostin et al., Plasma Physics Reports 28 (2002) 63–70.        [ Links ]

33. R. Severns, Conductors for HF Antennas http://rudys.typepad.com/ant/files/antennawireconductor.pdf, 27.10.06.        [ Links ]

Creative Commons License Todo el contenido de esta revista, excepto dónde está identificado, está bajo una Licencia Creative Commons