Resumen

FUNDORA, A; MARTINEZ, E; BLANCO, O  y  SIQUEIROS, J.M. Structural properties of Pb(Mg_1/3Nb_2/3)_0.90Ti_0.10O₃ films deposited by pulsed laser ablation on titanium nitride substrates. Rev. mex. fis. [online]. 2008, vol.54, n.1, pp.42-48. ISSN 0035-001X.

Se depositan películas policristalinas de Pb(Mg_1/3Nb_2/3)_0.90Ti_0.10O₃ (PMNT) por la técnica de ablación por láser pulsado sobre electrodos de TiN que, a su vez, son crecidas por erosión iónica en DC sobre sustratos de Si. La formación de la fase perovskita del PMNT es confirmada por análisis de difracción de rayos X. La morfología de las películas es analizada por microscopía electrónica de barrido. La naturaleza de la interfaz entre la capa ferroeléctrica y el electrodo es estudiada por microscopía electrónica de transmisión. Así mismo, se estudian los efectos de las propiedades de dicha interfaz en el desempeño del sistema de multicapas. Las características de las películas de TiN, usadas como electrodos, son evaluadas mediante espectroscopía de electrones Auger y espectroscopia de fotoelectrones de rayos X. Finalmente, se propone un modelo para el sistema PMNT/TiN/SiO₂/Si de películas delgadas aquí descrito.

Palabras llave : Películas delgadas ferroeléctricas; PMNT; ablación por láser pulsado; nitruro de titanio.