Resumo

RINCON-JARA, R. I; AMBROSIO, R.  e  MIRELES, J.. Análisis y caracterización de un acelerómetro capacitivo fabricado con tecnología polymump's. Superf. vacío [online]. 2010, vol.23, n.3, pp.26-31. ISSN 1665-3521.

En este trabajo se presenta el análisis y caracterización del diseño de un acelerómetro del tipo capacitivo desarrollado en el CICTA y fabricado con tecnología PolyMUMP's. Actualmente los acelerómetros MEMS son fabricados con los procesos convencionales como el micromaquinado en bulto y el micromaquinado en superficie, siendo este último utilizado para cuando se requiere integrar la estructura mecánica y los componentes electrónicos en el mismo encapsulado [1], así mismo los acelerómetros MEMS se clasifican según su método de transducción siendo el más utilizado el capacitivo [1][2]. Simulaciones experimentales de referencia mediante Coventor indican que para la utilización de un sensado capacitivo, se requiere un sistema que pueda detectar fF (fempto Faradios) de resolución, lo cual es un problema de ingeniería y conectividad no sencillo. Este trabajo describe una técnica para obtener los parámetros de operación del acelerómetro utilizando pruebas tanto mecánicas como eléctricas. Las figuras de merito más importantes obtenidas en este trabajo son: la sensibilidad y la No-linealidad. Los resultados obtenidos mostraron un valor de sensibilidad por el cambio de voltaje en relación a la gravedad de 1.4 mV/g y la No-linealidad R² presentó una fuerte correlación positiva mejor al 0.8%, con un rango de sensado de 12g's. Los parámetros de operación de nuestro dispositivo fueron comparados con el estado del arte de otros trabajos de referencia y con datos reportados en la literatura, estos indicaron que nuestro dispositivo es muy prometedor para aplicaciones en los sistemas automotrices.

Palavras-chave : MEMS (Sistemas Micro Electromecánicos); Acelerómetro; Masa sísmica; Frecuencia de resonancia; Sensores capacitivos.