Resumo

VARONA, J.; TECPOYOTL-TORRES, M.  e  VELAZQUEZ, R.. Micro sensor-actuador térmico sin baterías para aplicaciones en microelectrónica de ultra-bajo consumo de potencia. Rev. mex. fis. [online]. 2013, vol.59, n.1, pp.26-38. ISSN 0035-001X.

Como una alternativa a los microactuadores térmicos accionados eléctricamente, este trabajo presenta un microdispositivo que puede operar aprovechando el calor del ambiente circundante y que pude ser usado ya sea como actuador o como sensor térmico. Al no depender de batería alguna para su operación, este dispositivo es ideal para aplicaciones portátiles y de ultra-bajo consumo de potencia. El dispositivo fue implementado en una tecnología estándar de sistemas micro-electro-mecánicos (MEMS) y los resultados experimentales demuestran la viabilidad de explotar la energía térmica del medio ambiente para la activación de microsensores y actuadores MEMS. Para ilustrar las aplicaciones potenciales de este dispositivo se presenta el diseño de un microsistema de medición de temperatura que integra el microsensor térmico MEMS con circuitos electrónicos CMÓS en un solo microchip.

Palavras-chave : microsistemas; MEMS; sensores; actuadores; energía térmica.