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Revista mexicana de física
versión impresa ISSN 0035-001X
Rev. mex. fis. vol.51 no.1 México feb. 2005
Instrumentación
Calibración de un interferómetro fizeau: cálculo de incertidumbres
J. García-Márquez, N. Alcalá, M. Montoya, C. Pérez, M. Gutiérrez y J. Moya
Centro de Investigaciones en Óptica A.C. Loma del Bosque 115, Col. Lomas del Campestre, C. P. 37150, León, Gto. México
Recibido el 11 de junio de 2004;
aceptado el 28 de septiembre de 2004
Resumen
Se presenta un estudio relativo a la calibración de un interferómetro tipo Fizeau para obtener su acreditación como instrumento de medición de planicidad. El interferómetro será utilizado para la medición y calibración de planos ópticos de hasta 15 cm de diámetro. Se muestra que la contribución a la incertidumbre, tanto del interferómetro como del método de medición, es pequeña comparada a la contribución debida a los planos utilizados en la calibración.
Descriptores: Interferometría; medición de planicidad; cálculo de incertidumbres.
Abstract
A study on the calibration of Fizeau interferometer in order to obtain its accreditation as a flatness measuring instrument is presented. The interferometer will be used for measuring and calibrating optical flats with a maximum aperture diameter of 15 cm. It is shown here that the uncertainty contribution due to both, the interferometer and the measuring method employed is small as compared to the optical flats used in the calibration procedure.
Keywords: Interferometry; flatness determination; uncertainty calculation.
PACS: 06.30Bp; 06.60.Mr; 06.20.Fn; 07.60.Ly; 42.87.Bg
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25. El frente de onda es por notation W, en metrología se reserva la mayúscula para la expresión del mensurando, mismo que representamos aquí por W.
26. Correspondencia personal con Bodzenko Oreb (CSIRO, Australia), Robert Polvani (NIST, EE. UU.), David Putland (NPL, Inglaterra), y Georges Vailleau (LNE, Francia).
De cinco laboratorios internacionales de metrología, sabemos que el NIST (National Institute of Standards and Technology) ofrece una calibración basada en una norma cuyos resultados de medición se centran en los coeficientes de aberración de Zernike y no en P-V o RMS. El CSIRO (Commonwealth Scientific and Industrial Research organisation) no ha acreditado aún ninguno de sus dos interferómetros, el LIGO [8] y el Wyko 6000 y que el LNE (Laboratoire National d'Essais) no ofrece calibraciones de planos ópticos. Por tanto ninguno de esos laboratorios puede calibrar, con trazabilidad, al patrón materializado de longitud, un plano (óptico según nuestras necesidades. Sin embargo tanto el NPL (National Physical Laboratory) como el PTB (Physikalisch-Technische Bundesanstalt) ofrecen trazabilidad al patrón primario de longitud.