Servicios Personalizados
Revista
Articulo
Indicadores
- Citado por SciELO
- Accesos
Links relacionados
- Similares en SciELO
Compartir
Revista mexicana de física
versión impresa ISSN 0035-001X
Rev. mex. fis. vol.52 no.5 México oct. 2006
Investigación
Cobalt nitride films produced by reactive pulsed laser deposition
W. De La Cruz, O. Contreras, G. Soto, and E. PérezTijerina*, **
Centro de Ciencias de la Materia Condensada, UNAM, Apartado Postal 2681, 22800 Ensenada B.C., México.
* Laboratorio de Nanociencias y Nanotecnología, FCFMUANL, Av. Universidad s/n, Cd. Universitaria. San Nicolás de los Garza, N.L., México.
** Corresponding Author: Tel: +52 8183294030,
email: egperez@fcfm.uanl.mx
Recibido el 27 de febrero de 2006
Aceptado el 26 de septiembre de 2006
Abstract
The nitrides of magnetic metal are becoming important due to their potential technological applications. In this work cobalt nitride thin films are deposited by reactive pulsed laser deposition (nitrogen environments) on silicon substrates at room temperature. The resultant films are characterized insitu by Auger, XRay Photoelectron and Electron Energy Loss Spectroscopies. The chemical bond of the CoNx is strongly linked to the stoichiometry, and it can be controlled by the N background pressure. We conclude that this deposition method offers a means for finetuning the properties of cobalt nitride.
Keywords: Cobalt nitride; Xray photoelectron spectroscopy; electron energy loss spectroscopy; thin films; laser ablation.
Resumen
Los Nitruros de metales magnéticos han tomado gran importancia debido a sus potenciales aplicaciones tecnológicas. En este trabajo se han depositado capas delgadas de Nitruro de Cobalto usando la técnica de ablación láser pulsado reactivo en ambiente de nitrógeno. Se han usado sustratos de silicio a temperatura ambiente. Las capas resultantes se caracterizaron in situ por espectroscopías Auger, de fotoemisión de rayos X y de pérdida de energía. El enlace químico y la estequiometría están fuertemente correlacionados, y ambos son controlados simultáneamente por la presión durante el depósito. Concluimos que este método de síntesis permite tener un control muy fino de las propiedades de capas delgadas de Nitruro de Cobalto.
Descriptores: Nitruro de Cobalto; espectroscopia de electrones fotoemitidos; espectroscopía de pérdidas de energía; capas delgadas; ablación láser.
PACS: 79.60i; 75.70i; 77.84.Bw
DESCARGAR ARTÍCULO EN FORMATO PDF
Acknowledgments
The authors wish to thank V. García, J. Díaz H., J. Peralta, and P. Casillas for their valuable technical assistance, and CONACYT project 40183F and DGAPAUNAM IN 120306 for financial support.
References
1. S.T. Oyama In The chemistry of Transition Metal Carbides and Nitrides, S.T. Oyama (ed) (Blackie Academic & Professional: London, 1996) 107. [ Links ]
2. H. Asahara, T. Migita, T. Tanaka, and K. Kawabata, Vacuum 62 (2001)293. [ Links ]
3. Pulsed Laser Deposition of Thin Films, Chrisey DB, Hubler GK (eds) (John Wiley: New York, 1994). [ Links ]
4. J. Shen, Zheng Gai, and J. Kirschner, Surf. Sci. Rep. 52 (2004) 163. [ Links ]
5. A.G. Jenner, J.P. Hayes, L.A. Stone, H.V. Snelling, and R.D. Greenough, Appl. Surf. Sci. 138139 (1999) 408. [ Links ]
6. H. Sankur, J.T. Chueng, and W.J. Gunning. J. Appl. Phys. A 47 (1988) 271. [ Links ]
7. G. Soto, J.A. Díaz, R. Machorro, A. ReyesSerrato, and W. de la Cruz, Mat. Letters 52 (2002) 29. [ Links ]
8. A. Perrone, Jpn. J. Appl. Phys. 41 (2002) 2163. [ Links ]
9. D.L. Misell and A.J. Atkins, Phil. Mag. 27 (1973) 95. [ Links ]
10. K.L. Ngai, E.N. Economou, and M.H. Cohen, Phys. Rev. Let. 24 (1970) 61. [ Links ]
11. J.W. Gadzuk, Phys. Rev. B 1 (1970) 1267. [ Links ]
12. D.M. Newns, Phys. Lett. A 28 (1972) 341. [ Links ]
13. R.H. Ritchie, Phys. Rev. 106 (1957) 874. [ Links ]
14. R.A. Ferrell, Phys. Rev. 111 (1958) 1214. [ Links ]
15. E.A. Stern and R.A. Ferrell, Phys. Rev. 120 (1960) 130. [ Links ]
16. A. Barbier, P. Ohresser, V. Da Costa, B. Carriere, and J.P Deville, Surf. Sci. 405 (1998) 298. [ Links ]
17. G. Soto, W. De La Cruz, F.F. Castillón, J.A. Díaz, R. Machorro, and M.H. Farías, Appl. Surf. Sci. 214 (2003) 58. [ Links ]